各有关单位：
      由广州南砂晶圆半导体技术有限公司提出，并主责起草的《碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法  KOH腐蚀结合图像识别法》和《碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法》两项团体标准已完成征求意见稿的编制，根据《CASAS管理和标准制修订细则》有关规定，为保证标准的科学性、严谨性和适用性，现公开征求意见。
      请各有关单位及专家对本标准提出宝贵建议和意见，于2021年9月6日前以邮件的形式将《团体标准征求意见反馈表》反馈至联盟秘书处。
      特此通知。

 
 
秘书处邮箱：casas@casa-china.cn
秘书处电话：010-82387600-208


附件1：关于《碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法》等2项团体标准征求意见的通知
附件2：CASA 013—202X 碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法（征求意见稿）
附件3：CASA 014—202X 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法（征求意见稿）
附件4：团体标准征求意见反馈表