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ASML拟27.5亿欧元收购台湾最大半导体设备厂汉微科 2016-06-20 10:04

ASML,中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾),总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。

 

ASML总部位于荷兰Veldhoven,欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。2010年,其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年,卖出222套机器 ,全球净销售收入56.51亿欧元 ,净利润14.67亿欧元。ASML在欧洲、亚洲及美国的50多个地区拥有9245名员工 ,其中固定员工7184(欧洲4202 ,亚洲1538 ,美国1444 ),男女比例为9:1  。截止2011年,全球市场占有率75%。

台股股后汉微科挟著领先的技术,在电子束检测设备市场独占鳌头,市占达85%,毛利率7成,全球半导体三巨头都是它的客户,法人看好2018年以前汉微科没有对手。
由于晶圆代工厂採用的光学检测,在製程微缩下面临物理限制,电子束技术应运掘起,预估在看不到其他竞争对手推出新机器抢夺电子束检测市场前,汉微科的营收动能可望持续成长。
今日,汉微科宣布,与ASML签署股份转换契约,将以每股1410元出售给艾司摩尔(ASML),ASML将以现金方式收购汉微科全数流通在外股权,总交易金额为1000亿新台币。汉微科董事长许金荣表示,预计今年第4季完成交易,届时汉微科将在台股下柜,不过350多名员工都将全数留任,双方未来将更可加速共同研发更多微缩製程所需之新产品,以ASML收购价与汉微科的昨日收盘价计算,ASML收购价格溢价幅度约16.5%。
半导体专家莫大康表示:“这是设备业中又一次成功收购事件,双盈有合理性。未来ASML赌EUV技术,如果英特尔7纳米,台积电、三星5纳米时用,那它的股票要高涨。”

汉微科董事长许金荣表示,製程持续微缩,逻辑与记忆体的製程都愈来愈複杂,因此双方在很短的时间内就决定合併,汉微科出售之后未来将成ASML的100%持股子公司,在台湾的员工以及相关研发能量都会持续维持。
汉微科指出,双方已签署正式股份转换契约,ASML将以现金收购汉微科全部流通在外股份,整起交易总金额为1000亿新台币,为今年台湾仅次华亚科第二大半导体收购案。
汉微科财务长沉孝廉指出,后续预计8/3召开股东临时会,并同时会在韩国、台湾与新加坡等地送件公平会审查,顺利通过的话预计今年第4季交易就会完成,许金荣表示,交易完成汉微科将在台股下市。
而汉微科取得ASML资金后,汉民科技集团与汉微科经营团队部分成员,也同意以出售汉微科取得支线今,认购ASML发行的新股,ASML将增发590万股,占ASML股权数约1%左右,发行价格约为每股3106元新台币。
汉微科表示,股份转换案后会加速2间公司的技术发展进程,对客户、员工、供应商与投资人来说都是好消息,目前汉微科在台湾的两处据点共拥有约350名员工,未来计划在台湾继续投资并扩大汉微科的业务。
汉微科与ASML股份转换案预计第4季完成,交易应以达成符合惯例之交割条件(包括台湾、美国及其他国家主管机关的核淮)为前提,同时也须经过汉微科股东会同意,汉民科技集团与其他汉微科大股东以及汉微科经营团队目前共持有汉微科约48%的股份,皆已承诺将于股东会上支持本交易案。
ASML及汉微科董事会全体一致通过此股份转换案,ASML总裁暨执行长Peter Wennink表示,双方已经合作近2年,也充分瞭解彼此技术优势,此次合併能为客户提供更完整的製程控制方案。
ASML总裁暨执行长Peter Wennink表示,「两家公司合併后,透过双方量测技术的互补,将能协助客户大幅强化製程控制并提高良率。我们已经合作近2年,在合作过程中,我们充分瞭解双方技术之优势,并发现若两家公司能更进一步整合,将可为客户提供更完整的製程控制方案。」汉微科的执行长招允佳也表示,双方合作会加速两间公司的技术发展进程,对于我们的客户、员工、供应商和投资人来说,都是好消息。

汉微科于16日上午7点30分举行重大讯息说明会,宣布与荷商ASML(艾司摩尔)签署股份转换契约,ASML将以现金收购汉微科全流通在外股份,以每股1,410元约溢价31%、总交易金额约1,000亿新台币(27.5亿欧元),预计2016年底前完成购併案并下柜。
证券、期货分析师张陈浩并强调,从近期的收购案频传显示,在国际资金流动自由化程度提高,及台北股市的整体本益比、股价淨值比偏低之下,预估未来还会有更多的收购案出现。
张陈浩强调,由近期的美光收购华亚科(3474)及日月光(2311)收购硅品(2325)案,甚至如中国大陆的紫光集团积极寻求入股台湾的IC设计龙头等,都为台北股市的整体本益比较美国或中国大陆股市低、股价淨值比偏低,公司股价未能充分反映本质而引发,不仅美商或其他科技业者、甚至中国大陆的强大控股业者都要来分一杯羹。
张陈浩说,而国际间资金流动自由化程度提高,也是引起近期收购案频传的主因之一。
汉微科2013年EPS逾35元,2014年法人估达46元,明年上看60元。市场对汉微科多有信心,从汉微科的股价走势即可看出:汉微科在2012年5月21日以208元挂牌上柜,短短两年一路衝高,并于本月上旬创下1460元收盘新高价,甚至在盘中两度缔造1470元历史天价,数度挑战、甚至取代大立光的台股股王宝座。
汉微科所以能称霸市场,主要与半导体业製程微缩的趋势有关。过去晶圆代工厂多採用光学技术来检测晶圆缺陷,检测设备就像显微镜一样,能将晶圆上线路的缺陷找出来。然而随著高阶製程竞争越来越激烈,代工厂在发展本身技术的同时,也发现过去使用的光学检测,在28奈米以下有物理性瓶颈──光学检测无法看清楚28奈米以下製程的缺陷,就像人类的眼睛看东西无法聚焦一样。对晶圆代工厂来说,若无法提早发现缺陷,加以解决,在产品製成后才发现良率不佳,代价相当高。也因为光学检测技术出现限制,汉微科以耕耘已久的电子束技术顺势掘起,也让亏损约10年的公司顺利转亏为盈,并迈步起飞。

比较光学检测与电子术检测的差异,首先以解析度来说,电子束优于光学,且电子束可检测的缺陷包括奈米等级的物理缺陷以及电性缺陷,优于光学仅能侦测物理缺陷的表现。以灵敏度来说,电子束一直到10奈米以下都没有问题,光学检测到达45奈米就会出现图像模糊的情况,而在28奈米以下更是难以判独缺陷。光学检测的主要优势则在扫描速度较快,且目前大部分的製程还是使用光学检测设备即可。
由于半导体业製程微缩是不可避免的潮流,在其他对手推出新设备抢市前,汉微科的电子束检测设备仍是寡占市场,因此有外资券商看好汉微科营收成长动能可到2018年,并给予史上最高目标价。
ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型。例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。
ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产,AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。
目前已经商用的最先进机型是Twinscan NXT 1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。
ASML正在加紧研制基于极紫外(EUV)光源的新型光刻机,型号定为NXE系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高集成电路质量。
除了目前致力于开发的TWINSCAN平台外,ASML还在积极与IMEC, IBM等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如EUV(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。目前ASML已经向客户递交若干台EUV机型,用于研发和实验。同时,基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。07年末三星(Samsung)宣布成功生产的36纳米闪存,基于的便是双重曝光技术。
目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML, 尼康(Nikon),佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),ASML大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。

ASML于2012年10月宣布收购Cymer公司,以加快EUV的研发进度。Cymer公司是世界领先的准分子激光源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源。产品主要特性是:带宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。


来源:半导体直线距离

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