建立符合第三代半导体器件特性的检测标准

——联盟标委会第三代半导体器件检测工作组成立

2017年2月17日，第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）标准化委员会成立大会在中国科学院半导体研究所举行。会上标准化委员会成立了第三代半导体器件检测工作组，该工作组主要针对现阶段检测标准以硅器件测试参数为主，不能够满足第三代半导体器件测试要求这个问题，提供一套更具针对性的第三代半导体测试标准。        

中国科学院微电子研究所许恒宇研究员代表第三代半导体器件检测工作组作了工作汇报。

第三代半导体材料作为高新材料，与硅材料在性能方面相比更胜一筹，其具备更宽的禁带宽度、更高的击穿场强、更快的饱和速度、高电子迁移率等等，可满足更加复杂的工作环境，极大的保证了器件的可靠性和灵敏性，在家电、航空航天以及轨道交通、智能电网等领域拥有广泛的应用。然而，现阶段的电子器件检测标准，都是以硅器件测试参数为主，很多参数对于第三代半导体材料器件的测试并没有明显的意义，而反映第三代半导体材料特有性能的一些参数没有得到测试，无法发挥其优势。

为了更好的推进第三代半导体器件的应用，为整个行业发展提供规范的标准指导，联盟标委会组建了器件测试工作组。工作组将首先针对碳化硅肖特基二极管进行测试标准制订，后续将陆续开展其他器件的测试标准工作。为此，工作组将构建一个成熟的标准研讨班底，通过调研和学习，制订标准研究方向。

中国科学院微电子研究所许恒宇研究员

此次联盟标委会成立，中国科学院院士甘子钊、科技部原副部长、CASA指导委员会主任曹健林，科技部高新技术及产业化司原司长、CASA指导委员会副主任赵玉海，科学技术部国际合作司原司长、CASA指导委员会副主任靳晓明，科技部高新司材料处调研员李志农，工业和信息化部科技司副司长沙南生，工业和信息化部科技司标准处调研员甘小斌，北京市科委双新处处长许心超，国家标准化委员会工业二部王天质，中关村管委会自主创新能力建设处调研员张若松，CASA理事长吴玲，CASA国际咨询委员会联合主席张国旗，CASA秘书处于坤山以及CASA会员单位中车、全球能源互联网研究院、中兴、三安、十三所、五十五所等单位的高层代表近60人共同出席了会议。会议对第三代半导体器件检测工作组方案进行了讨论审议并给予了认可。

大合影