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标准 |《碳化硅晶片贯穿型螺位错密度的无损检测方法 X射线形貌术》立项 2026-07-01 10:51

2026年6月30日,按照第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会(CASAS)相关管理办法,经CASAS管理委员会投票通过由山东大学新一代半导体材料研究院牵头提出的《碳化硅晶片贯穿型螺位错密度的无损检测方法 X射线形貌术》团体标准立项建议,详细信息如下:

 

序号

标准名称

1

T/CASAS 081—202X  碳化硅晶片贯穿型螺位错密度的无损检测方法 X射线形貌术

牵头单位

山东大学新一代半导体材料研究院

联合单位

广州南砂晶圆半导体技有限公司、山东中晶芯源半导体科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、理学电企仪器(北京)有限公司

秘书处将向CASAS正式成员发出征集起草单位的通知,组建标准起草小组,请CASAS正式成员关注秘书处邮件(casas@casa-china.cn)。

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新一代半导体材料研究院是教育部首批支持的战略科技创新平台,依托山东大学开展建设。研究院充分发挥学校在半导体材料研究领域的已有优势,通过整合校内微电子、物理、化学、材料、机械、控制、信息等优势学科力量,瞄准半导体材料技术未来发展方向,面向能源、信息、国防、轨道交通等领域的重大需求,重点开展碳化硅、氮化镓、氧化镓、金刚石、氮化铝等新一代宽禁带、超宽禁带半导体单晶材料及器件研究工作,旨在突破关键核心技术,支撑核心产业发展,推动我国新一代半导体、集成电路、信息技术的快速发展,满足国防安全和经济建设的重大需求。

 

山东大学将研究院建设列为“双一把手工程”,举全校之力、集全校之智予以重点推进。作为学术特区,学校为研究院在校内新建1.2万平方米研发中心大楼,配备各类先进仪器设备,给予稳定的经费与政策支持。构建起“一中心多基地”的发展格局,围绕产业链部署创新链,与华为等龙头企业建立深度合作关系;组建起一支包括教育部“长江学者”特聘教授、国家杰出青年基金获得者、中组部“万人计划”入选者等在内的高端研究团队。研究院作为晶体材料国家重点实验室的重要支撑,将以更加开放的姿态和国际化的视野,珍视机遇,不辱使命,力争成为我国新一代半导体材料及器件产业化技术策源地。

 

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