2026年9月28日,由上海临港车规半导体研究院有限公司牵头制定,遵循CASAS标准制定流程,经过标准起草小组会议讨论、广泛征求意见、委员会草案投票等流程,团体标准T/CASAS 072—2026《半导体功率器件/模块高浓度硫化氢试验方法》正式发布。


功率器件/模块具有击穿电压高、导通电流大、开关速度快、功率损耗小、高温稳定性好等优点,被认为是最具前景的半导体器件之一,它具有能够大幅提高现有系统集成的功率密度、效率、高温工作能力以及抗辐射的能力,与此同时还降低了系统的体积和重量,因此在智能电网、光伏发电、电动汽车等领域,都具有非常广阔的应用前景。
自然界中原本就存在硫化氢气体,例如火山爆发、地热排放、微生物活动和森林火灾等。随着人类的发展,由于人类生活的需要相应地产生了越来越多的硫化氢气体,最为典型的有化石燃料加工、木材制浆、污水处理、化石燃料燃烧、汽车排放、矿石冶炼、硫酸制造等。虽然在工业上已经对排出的气体做了去硫处理,但是仍然会有硫化氢的排出。而生活中的煤炭燃烧、天然气燃烧和汽车发动机的使用,这些都没有配备去硫的装置,所以大气中的硫化氢含量随着人类活动和需求的增加而持续增加。硫化氢和铜和金发生反应并腐蚀,从而影响电子器件和电气连接部件的性能。
硫化氢气体对于功率半导体而言,是最具威胁的腐蚀性污染物。功率器件/模块在运行期间通常会升至高温,在所施加电压的作用下,硫化氢气体会与铜发生反应生成硫化铜(Cu2S)晶体。硫化铜(Cu2S)这种导电结构会在陶瓷基板DBC上的覆铜沟槽内蔓延并在最坏的情况下引发短路;如果功率半导体接线柱或引脚含铜,也会产生硫化铜蔓延影响外观并可能导致短路并在最坏的情况下引发短路。在高湿条件下其发展会加速。
现有的功率器件/模块并没有专门的硫化氢气体腐蚀试验方法,从而影响对功率器件/模块抗硫化腐蚀可靠性和硫化氢气体环境下使用寿命的评估。
T/CASAS 072—2026《半导体功率器件/模块高浓度硫化氢试验方法》描述了半导体功率器件/模组高浓度硫化氢试验方法,包括:试验条件、试验装置、试验程序以及失效判据。
本文件适用范围:功率器件/模块(涵盖碳化硅、氮化镓、硅等工艺)。
【本文件主要起草单位】
上海临港车规半导体研究院有限公司、卓智热创(苏州)试验设备有限公司、复旦大学、江苏宏微科技股份有限公司、中国电器科学研究院股份有限公司、安世半导体科技有限公司、复旦大学宁波研究院、常州银河世纪微电子有限公司、上海诚帜电力电子技术发展有限公司、南瑞集团有限公司、成都集佳科技有限公司、上海林众电子科技有限公司、广电计量检测集团股份有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。
【本文件主要起草人】
陈明锋、卢申林、樊嘉杰、陈威、李雯钰、张锦源、吴云、陈川、刘旭、王睿统、郭亚杰、庄建军、胡志平、高涵、孙纯哲、程永峰、黄鸿阳、罗航、李汝冠、高伟。

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【上海临港车规半导体研究院】
上海临港车规半导体研究院是落地临港服务临港的优质车规半导体科技创新功能性平台,我们车规研究院科创平台总体目标是推动上海临港新片区向世界级“东方芯都”迈进并同时促进临港、长三角乃至全国车规半导体全产业链创新合作共同发展的科技创新型平台提高中国车规芯片设计、制造、封装以及测试认证综合能力,提升车规级芯片国产化比率。通过创新式、开放式平台化运作模式以及优秀团队共同携手前行,协同国际与国内车规半导体芯片和新能源汽车用户领域的各类优势资源合作,吸纳、聚集和培育经营性优质人才、技术引领性创新的人才,努力突破车规半导体实验检测认证、先进芯片设计、前瞻性封装技术以及设备、材料以及车规应用等等共性与特性关键技术,形成车规半导体的创新平台,车规芯片新技术实践基地,以及为临港产业招商与临港孵化车规半导体创业乐园,计划逐步在2025年成为行业知名车规半导体科技创新功能性平台,行业第三方重点实验室以及临港产业招商与高质量孵化器,以上下游产业优质资源、技术与人才、金融投融资资源以及当地政策,赋能低空经济领域、车规半导体行业民营公司和小微企业,培养优质企业家组建经营联盟,逐渐让我们研究院孵化企业成为国内外特定赛道领衔明星企业且具备将来上市能力。
【复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与器件研究所】
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与器件研究所聚焦宽禁带半导体器件设计、工艺开发、封装及可靠性关键技术。研究所总投资约4.6亿,打造国际一流的碳化硅功率器件、封装和测试平台,解决面向下一代、面向产业化的关键问题。研究所目前建有实验室4640 m2,其中百级无尘室440m2,千级无尘室100m2,万级无尘室2200m2,十万级无尘室1000m2,其他辅助面900 m2。另有办公面积1400 m2及功能区787 m2。自2022年以来,陆续获批纵向项目包括国家自然科学基金青年基金、中国博士后科学基金面上资助、浙江省“领雁”项目、浙江省博士后基金、宁波市科技重大专项等。发表论文91篇,专利申请20项,授权2项。承接产学研合作横向项目超千万,获批复旦大学专业学位研究生专业实践基地。
